Nízky tlak nasýtených pár: Táto vlastnosť oleja je nevyhnutná na dosiahnutie požadovaného vákua. Pri výrobe týchto výrobkov sa používajú špeciálne základové oleje.

Vysoká odolnosť voči oxidácii: Umožňuje zabrániť tvorbe organických usadenín.

Dobrý viskozitný index:

Malé odchýlky vo viskozite v dôsledku zvýšenia teploty, nemenný počas celej prevádzkovej životnosti oleja, čím zabezpečuje tesniacu schopnosť vákuového čerpadla.

V prípade korózneho plynu alebo veľmi pokročilého vákua sa vyžadujú špeciálne kvapaliny (na báze polyéteru, silikónu...).