Niska prężność par nasyconych oleju: podstawowa cecha olejów wymagana do uzyskania wymaganej próżni. Do uzyskania tych produktów wykorzystano specjalne oleje bazowe. Wysoka odporność na utlenianie: konsekwencją tej cechy jest brak powstawania organicznych nagarów (koksów). Dobry wskaźnik lepkości: mała zmienność lepkości oleju wraz ze wzrostem temperatury oraz stabilność lepkości w czasie eksploatacji, zapewniają odpowiednią szczelność pomp próżniowych. W przypadku agresywnych gazów korozyjnych lub przy bardzo wysokiej próżni wymagane jest stosowanie cieczy specjalnych (polietery, silikony).