Nizak tlak zasićenja ulja parom: Ovo svojstvo ulja ključno je za postizanje željenog vakuuma. Za formule ovih proizvoda upotrebljavaju se posebne bazne zalihe.
Visoka oksidacijska otpornost: Omogućuje izbjegavanje nastanka organskih naslaga.
Dobar indeks viskoznosti:
Niska varijacija viskoznosti zbog povećanja temperature, ravnomjerno tijekom cijelog vijeka trajanja ulja, čime se osiguravaju svojstva brtvljenja vakuumske pumpe.
U slučaju korozivnog plina ili vrlo naprednog vakuuma potrebne su specifične tekućine (polieteri, silikoni...).