Niedriger Ölsättigungsdampfdruck: Diese Ölcharakteristik ist wichtig, um das gewünschte Vakuum zu erreichen. Zur Formulierung dieser Produkte werden bestimmte Grundvorräte verwendet.

Hohe Oxidationsbeständigkeit: Ermöglicht die Vermeidung der Bildung organischer Ablagerungen.

Guter Viskositätsindex:

Geringe Variation der Viskosität aufgrund eines Temperaturanstiegs, der während der gesamten Lebensdauer des Öls konstant bleibt und somit die Dichtleistung der Vakuumpumpe gewährleistet.

Bei ätzendem Gas oder sehr fortgeschrittenem Vakuum sind spezielle Flüssigkeiten erforderlich (Polyether, Silikone ...).